國內某 OLED 鍍膜機廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標準不銹鋼氣動高真空閘閥,
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規格:
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閥門材質: |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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- 超高真空 |
銅墊圈 / 氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關閉 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 開啟前**大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 彈性體密封閥蓋 |
150°C |
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- 金屬密封閥蓋 |
-開啟溫度：200°C -關閉值：150°C |
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- 驅動方式 |
手動 60 °c, 氣動 60 °c |
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機制 |
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手動： |
手搖曲柄 |
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電磁閥供電電壓 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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電磁閥可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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電磁閥位置指示器,**大 |
115 VAC |
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氣動送風： |
80 psig |
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使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 16 - 800 mm |
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下圖是某 OLED 鍍膜機廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閥門
OLED 鍍膜機主要面向有機半導體照明客戶, 需要鍍膜機性能更穩定, 器件效率更高, 性價比高,
對于生產 OLED 鍍膜機的客戶, 為了節省抽空時間和防止基片的污染, 會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統.
伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應用于 OLED 鍍膜機
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