>> 技術參數

 ◆ 設備外形尺寸(不包括報警燈)

   650(W)×900(D)×1600(H)mm

 ◆ 合金鋁真空倉體(約100升)

   450(W)×450(D)×450(H)mm

 ◆ 電極結構

   外置電感耦合電極

 ◆ 等離子發生器(美國MKS)

   頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作

 ◆ 控制系統

   PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品**電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

 ◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)

   日本愛發科(ULVAC)機械真空泵 VDN901 (23L/S)

   臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器         

 ◆ 充氣系統

   美國MKS高精度電子質量流量計(四路氣體配制)

   美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

   日本SMC及CKD高真空氣閥組件